油擴散(san)泵抽氣系(xi)統的*缺點(dian)是油蒸汽(qi)的污染。
系(xi)統中污染(ran)物的主要(yao)來源如下(xia)：
(1)擴散泵油(you)蒸汽的返(fan)流。這是最(zui)重大的污(wu)染源。
(2)系統(tong)中的零部(bu)件，在裝配(pei)時用有油(you)的手拿。用(yong)有油污的(de)手套拿，這(zhe)樣粘染的(de)有機分子(zi)可以造成(cheng)系統内的(de)污染。
(3)前級(ji)油封機械(xie)泵油的返(fan)流。這個問(wen)題也很嚴(yan)重，當入口(kou)壓力較高(gao)時，在達到(dao)過渡區(1～10-1Pa)壓(ya)力時，機械(xie)泵的油蒸(zheng)汽即可直(zhi)接進入擴(kuo)散泵内，對(dui)系統直接(jie)進行污染(ran)。很多真空(kong)工藝過程(cheng)的污染來(lai)自機械泵(beng)返油。當停(ting)機械泵時(shi)如不及時(shi)向泵内放(fang)大氣，機械(xie)泵油可直(zhi)接返到擴(kuo)散泵油鍋(guo)内。當擴散(san)泵起動時(shi)對系統的(de)污染更為(wei)嚴重。
(4)抽氣(qi)系統中密(mi)封材料的(de)放氣造成(cheng)的污染。特(te)别是人造(zao)橡膠密封(feng)圈，密封油(you)脂，潤滑油(you)等，也同樣(yang)造成嚴重(zhong)的污染。
(5)當(dang)停泵後放(fang)大氣時，使(shi)真空零部(bu)件在空氣(qi)中粘污上(shang)水蒸汽，油(you)煙等，造成(cheng)對真空系(xi)統的污染(ran)。
消除系統(tong)油蒸氣返(fan)流的具體(ti)措施為：
(1)加(jia)大擴散泵(beng)的啟動功(gong)率來縮短(duan)機械泵與(yu)擴散泵切(qie)換時的壓(ya)力過渡區(qu)。
(2)通過改變(bian)系統操作(zuo)工藝和用(yong)閥門來避(bi)開返流危(wei)險區（切換(huan)過渡區）。例(li)如，可使一(yi)個按照預(yu)定速度開(kai)啟的高真(zhen)空閥，逐漸(jian)地開啟它(ta)，保證進入(ru)擴散泵的(de)氣體流量(liang)低于它的(de)*排氣量，并(bing)且又使機(ji)械泵抽速(su)保證擴散(san)泵前級壓(ya)力，以使擴(kuo)散泵能樹(shu)立工作。這(zhe)樣就能避(bi)開過渡區(qu)的出現。
(3)改(gai)善操作工(gong)藝，将擴散(san)泵的加熱(re)功率調至(zhi)*功率，避免(mian)出現泵油(you)爆沸現象(xiang)；一般擴散(san)泵在加熱(re)開始和關(guan)閉過程中(zhong)，返流将出(chu)現峰值，所(suo)以可用泵(beng)口處的高(gao)真空閥門(men)來控制避(bi)免返流。
(4)在(zai)擴散泵入(ru)口處加裝(zhuang)液氫冷阱(jing)或吸附阱(jing)來捕集返(fan)流油蒸氣(qi)。
(5)選用*的擴(kuo)散泵工作(zuo)液。